ООО «НТ технологии»

Температура неподвижной подложки при нанесении покрытий


­Вследствие поглощения теплового потока за счет конденсации пара и теплоизлучения от испарителя температура подложки при нанесении на нее покрытий повышается. Энергия поглощается в тонком поверхностном слое. Это дало основание считать, что в течение короткого времени температура поверхности повышается до такой степени, что превышает температуру остальной части подложки на несколько сот градусов. Экспериментальное измерение температуры поверхности, на которой происходит конденсация пара, сопряжено со значительными трудностями. Даже применение пленочных термопар дает сильно заниженные значения температуры из-за термического сопротивления между подложкой и датчиком и его инерционности, причем с повышением температуры погрешность измерений возрастает. Хирс и Паунд категорически отвергают гипотезу о резком повышении температуры поверхности при конденсации, доказывая, что энергия каждого сконденсированного атома полностью рассеивается подложкой за очень короткое время.

В работе решено уравнение теплопроводности для линейно-движущейся границы, к которой подводится постоянный поток теплоты (этот случай соответствует росту вакуумного конденсата на подложке), и дано выражение, показывающее, как распределяется температура по толщине растущего покрытия. Предположение о том, что подложка термостатирована, не является существенным ограничением. При других условиях на границе подложка — конденсат AT по порядку величины остается такой же. Таким образом, наличие покрытия не сказывается существенно на тепловом режиме подложки, и повышение температуры при конденсации пара связано в основном со свойствами подложки.

Установим зависимость температуры поверхности конденсации от параметров нанесения для нескольких наиболее важных случаев: а) неподвижная металлическая подложка; б) неподвижная диэлектрическая подложка; в) движущаяся над испарителем стальная полоса. В расчетах будем пренебрегать теплоотдачей подложки за счет излучения и теплопроводности, что оправдано при интенсивных режимах нанесения, когда почти вся тепловая энергия, поступающая на подложку, расходуется на ее нагревание. Погрешность, вносимая этим допущением, будет в дальнейшем учтена.

Определим зависимость температуры поверхности неподвижной подложки, обращенной к испарителю, от времени нанесения покрытия, если ее начальная температура. Со стороны, обращенной к испарителю, к подложке подводится тепловой поток плотностью.

Дополнительная информация: чтобы изучить культуру Востока, ценители и знатоки начинают учить арабский язык, однако, большинство из них разочаровывается - самостоятельно это сделать практически невозможно. Только репетитор по арабскому сможет грамотно и быстро помочь с решением подобных проблем, объяснить тонкости изучения именно этого языка. ­

Наша продукция

Адрес:
Москва, Сокольническая пл. 4А

© ООО «НТ технологии»
Тел: 8 (495) 617-01-91
Copyright © 2005-2013 Все права защищены.