ООО «НТ технологии»

Метод взрывного испарения


­При испарении сплавов из одного источника степень фракционирования уменьшается с увеличением температуры. Эта закономерность положена в основу взрывного метода испарения сплава, предложенного Харрисом и Зигелем. Метод заключается в том, что частицы мелкораздробленного материала (сплава необходимого состава или смеси компонентов) равномерно или небольшими дискретными порциями подаются в испаритель, разогретый до температуры, которая заведомо выше температуры интенсивного испарения самого труднолетучего компонента сплава. Происходит быстрое (взрывное) испарение сплава, вследствие чего состав пара над испарителем и конденсата идентичен составу подаваемого материала, независимо от соотношения упругостей паров компонентов. Температура подложки выбирается такой, чтобы обеспечить высокую поверхностную подвижность атомов и в то же время не допустить реиспарения металла.

В литературе описаны различные конструкции устройства, подающего порошок в испаритель, в которых чаще всего применяют винт, вибратор или бесконечную движущуюся ленту. Такие устройства столь же надежны, как трубы корсис. При кажущейся простоте метод взрывного испарения имеет ряд недостатков. Температура испарителя должна быть тщательно подобрана, так как при слишком высокой температуре частицы отлетают от испарителя, не успевая расплавиться, а при пониженной — нарушается стабильность испарения из-за того, что труднолетучий компонент испаряется не полностью, накопляясь в испарителе. Выделение адсорбированных газов при соприкосновении частиц порошка с раскаленной поверхностью приводит к возникновению реактивных сил и рассеянию вследствие этого падающего в испаритель порошка. При подаче смеси порошков чистых компонентов потери каждого из них могут быть различными, что приведет к нежелательному изменению состава сплава.

Реактивные силы, развивающиеся при взрывном испарении и выделении газов, настолько велики, что могут выбрасывать частицы диаметром до 3—5 мм. При высокой температуре испарителя газы начинают выделяться еще до соприкосновения частиц с испарителем, и траектория частиц в зоне испарения искривляется, так что они пролетают мимо испарителя. Удары рассеянных частиц о подложку приводят к разрушению пленки или к прилипанию их к подложке, что сильно ухудшает качество конденсата. Рассеянный порошок засоряет камеру и снижает производительность. ­

Наша продукция

Адрес:
Москва, Сокольническая пл. 4А

© ООО «НТ технологии»
Тел: 8 (495) 617-01-91
Copyright © 2005-2013 Все права защищены.