ООО «НТ технологии»

Влияние условий конденсации на структуру и микротвердость покрытий


­Структура вакуумных пленок и их свойства существенно зависят от параметров процесса осаждения, основными из которых являются температура подложки (температура конденсации), скорость осаждения, давление в камере и угол наклона потока паров. В работе изучена структура конденсатов хрома толщиной 5—30 мкм, полученных при температурах от 250 до 900° С в вакууме 5-10"3 Па со скоростью конденсации 0,04—0,15 мкм/мин. При температуре конденсации 880° С зерна хромового осадка имеют непрерывные четкие границы, во многих зернах дислокации не наблюдаются. При температуре порядка 500° С все зерна оказываются блочными; внутри зерен видны дислокации, плотность которых составл­яет 4-1010 1/см2. Размер блоков (бездислокационных областей) —90 нм, а взаимная разориентиро­вка блоков 10— 30'. Сложную внутреннюю структуру имеет осадок хрома при температуре конденсации ниже 400° С: границы зерен искривлены, зачастую прерывисты; внутри зерен видны блоки и большое число дислокаций, плотность которых —7-1010 1/см2, а размер бездислокационных областей —40 нм. Такие конденсаты имеют сложное строение зерен и большое количество дефектов структуры.

Микрофотографии хромовых покрытий на чугуне, полученных при температуре конденсации 500—570° С: отчетливо видна столбчатая структура хромового покрытия. Рельеф поверхности покрытия зависит от угла падения потока паров хрома на подложку. Покрытия текстурированы в направлении падения потока паров. С увеличением угла падения размер зерен увеличивается. Влияние температуры и скорости конденсации на микротвердость конденсатов хрома изучено в работах. Микротвердость хрома с повышением температуры конденсации уменьшается. По данным работы, микротвердость конденсатов хрома при температуре конденсации 450° С равна 3,5—4 ГПа, а при 750° С — 2—2,5 ГПа. В работе при тех же температурах конденсации получены более высокие значения микротвердости, особенно в области низких температур. По-видимому, в процессе нанесения этих покрытий происходило их легирование материалом испарителя, что и обусловило более высокую микротвердость.

Характер изменения микротвердости с повышением температуры конденсации зависит от природы подложки. Рассмотрим зависимость микротвердости хромового покрытия на чугуне от температуры конденсации. Повышение микротвердости покрытия на чугуне при температурах выше 600° С связано, по-видимому, с диффузией углерода в покрытие из чугунной подложки и образованием твердого раствора углерода в хроме. С увеличением скорости конденсации хрома от 2 до 20 мкм/мин микротвердость покрытия уменьшается, и минимум ее сдвигается в область более низких температур, что может быть обусловлено меньшей насыщенностью конденсата остаточными газами при большей скорости конденсации.

Дополнительная информация: в целях обеспечения безопасности современной дорогостоящей бытовой техники в дома и квартиры устанавливаются стабилизаторы напряжения, контролирующие входное напряжение. Современные стабилизатор напряжения для дома мало чем отличаются от промышленных по качеству, однако они адаптированы для небольших помещений и отлично работают на протяжении длительного периода времени. ­

Наша продукция

Адрес:
Москва, Сокольническая пл. 4А

© ООО «НТ технологии»
Тел: 8 (495) 617-01-91
Copyright © 2005-2013 Все права защищены.